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英文名稱：Non-contact 3D profiler
產品應用：設備主要應用于IC載板生產過程中需要的一些3D方面的數據量測，例如激光鉆孔孔徑孔型的量測，蝕刻后線寬線距線高的量測，壓合前棕化面粗糙度的聯測，銅面金面阻焊等表面的粗糙度量測，鍍銅盲孔凹陷的量測等
制造廠家：NANO SYSTEM
產 地：韓國
服務熱線：
產品規格
測量精度：WSI:＜0.5nm PSI：＜0.1nm
工作臺面：610×610mm （可定制）
掃描范圍：0-270um（Z方向）
光學放大倍數：X5 , X10 , X20 , X50
產品特點
高精度快速測量
優越的重復性和再現性
有實驗室量測，產線全自動量測滿足需求
報告生成，數據反饋功能
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